1.新一代弧源設計,具有更高的靶材利用率及更好的液滴控制;
2.刀具,微型刀具,刀粒,模具及零件涂層生產的理想選擇;
3.可對產品進行涂前氮化處理;
4.可同爐沉積最多4種不同成分靶材材料;
5.更高的產能(每天4爐);
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